ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ

            Актуальність теми. Дослідження адсорбційних процесів на поверхні твердих матеріалів є одним з актуальних напрямків розвитку напівпровідникової мікроелектроніки. Про це свідчить значний обсяг публікацій та проведення окремих міжнародних конференцій у цій галузі фізики і техніки напівпровідників. Значення цієї проблеми визначається розвитком сучасного приладобудування, однією із основних задач якого є створення напівпровідникових мікроелектронних сенсорів газів. Розв’язання цієї задачі потребує глибокого вивчення фізико-хімічних процесів на поверхні напівпроводніків, фізичних механізмів адсорбційної чутливості, природи центрів адсорбції.